具有較強的抗干擾能力，對環(huán)境條件的要求不像激光干涉?zhèn)鞲衅髂菢訃栏?，但不如感?yīng)同步器和磁柵式傳感器的適應(yīng)性強，油污和灰塵會影響它的可靠性。主要適用于實驗室條件下工作，也可在環(huán)境較好的車間中使用。?高精度光柵的成本高。光柵式傳感器在幾何量測量領(lǐng)域中多用于測量長度（或直線位移）和角度（或角位移）。具體應(yīng)用有如下幾個方面：?長度和角度的精密計量儀器。如線值計量的工具顯微鏡、測長儀、比長儀，以及三坐標測量機等；角度計量的分度頭、圓轉(zhuǎn)臺，以及度盤檢驗儀等。